光感测元件及其制作方法

摘要

一种光感测元件，包含金属导电层、介面介电层、富矽介电层以及透明导电层。介面介电层形成于金属导电层上，富矽介电层形成于介面介电层上，而透明导电层则是形成于富矽介电层上。