| 摘要 |
本发明公开了一种热处理系统。所述热处理系统包括传输台、一个或多个热处理腔室以及沉积设备介面。所述传输台用于接收要进行热处理的工件。所述传输台还用作一种将工件从一个腔室移动到另一个腔室的机构。所述热处理腔室包括一套热作业系统用以加热或者冷却工件。所述热处理腔室可容纳一个平台，每个工件能垂直放置在所述平台上。因此，所有的工件可以和要传输的所述平台一起移动，例如，一起从一个腔室移动到另一个腔室。根据具体的实施方式，所述平台可以包括一个或复数个工件夹具，其中，所有工件可以由一个所述工件夹具活动地举起，或每个工件分别由一个所述工件夹具活动地举起。 |
