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发明名称 PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILMS MINCES SUPPORTES
摘要
申请公布号 FR2968123(B1) 申请公布日期 2013.01.11
申请号 FR20100059948 申请日期 2010.11.30
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S);UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE 发明人 BARON THOMAS;BASSIGNOT FLORENT
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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