| 摘要 |
Offenbart wird eine Vorrichtung für elastische Wellen mit einer kapazitiven Elektrode, die in Reihe einer IDT-Elektrode auf einem piezoelektrischen Substrat geschaltet ist, und die ein kammförmiges Elektrodenpaar enthält, wobei die Vorrichtung für elastische Wellen sowohl eine verbesserte Leistung als auch eine verbesserte Miniaturisierung ermöglicht. Eine Vorrichtung (1) für elastische Wellen ist ausgestattet mit: einem piezoelektrischen Substrat (30), einer IDT-Elektrode (29), die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist, und einer kapazitiven Elektrode (28), die auf dem piezoelektrischen Substrat (30) ausgebildet und mit der IDT-Elektrode (29) in Reihe geschaltet ist. Die kapazitive Elektrode (28) umfaßt mehrere kapazitive Elektrodenabschnitte (28a bis 28e), die ein Paar kammförmiger Elektroden enthalten, das dazwischen eingesetzt ist. Die kapazitiven Elektrodenabschnitte (28a bis 28e) sind miteinander parallelgeschaltet. Die kapazitiven Elektrodenabschnitte (28a bis 28e) sind so gebildet, daß eine Überschneidungsbreitenrichtung (D1) der kapazitiven Elektrodenabschnitte (28a bis 28e) zu einer Überschneidungsbreitenrichtung (D2) der IDT-Elektrode (29) geneigt ist. Die mehreren kapazitiven Elektrodenabschnitte (28a bis 28e) sind in einer Ausbreitungsrichtung der elastischen Welle (D3) der IDT-Elektrode (29) gruppiert.
|
