发明名称 PLANAR MAGNETRON SPRAY DEVICE
摘要
申请公布号 GEP20125725(B) 申请公布日期 2013.01.10
申请号 GEAP20011012338 申请日期 2011.08.12
申请人 发明人 SIKHARULIDZE, SERGO;BERISHVILI, ZAUR;DGEBUADZE, GURAM
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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