| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (20) zur dreidimensionalen Vermessung eines Objekts (6) unter Verwendung eines konfokalen Mikroskopieverfahrens, umfassend eine Laserquelle (21) zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahls (3), eine Fokussieroptik (4) zur Fokussierung des Beleuchtungsstrahls (3) auf mindestens einen Messpunkt (5, 23) auf einer zu vermessenden Oberfläche des Objekts (6), einen Detektor (10) zur Erfassung eines von der Oberfläche des Objekts (6) zurückgestrahlten Beobachtungsstrahls (9), eine konfokale Beobachtungsoptik (7), die nur den auf die Oberfläche des Objekts (6) fokussierten Beobachtungsstrahl (9) zum Detektor (10) durchlässt. Die Laserquelle (21) umfasst dabei mehrere kohärente Laserelemente (22), wobei die Laserelemente (22) gleichzeitig Beleuchtungsstrahlen (3) abstrahlen, die auf mehrere Messpunkte (5, 23) auf der Oberfläche des Objekts (6) fokussiert werden, wobei die Laserelemente (22) so angeordnet sind, dass ein Speckle-Effekt in den bei der Vermessung erzeugten 3D-Bilddaten vermindert wird.
|
