一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜片面形的方法

摘要

本发明是一种子孔径拼接干涉仪系统，包括在地面隔振单元、填充物，隔断层、第一主动隔振单元、平台、气浮导轨、第一平台、第二主动隔振单元、第二平台、移动机构、转台、待测光学镜片、气浮导轨、衍架、透明罩。本发明提供一种带有隔振效果的子孔径拼接干涉仪机构是通过多层隔振处理，可以隔离地面振动对测量的影响，通过加上玻璃罩，在测量空间中充氮气，减少气流和温度波动，通过在气浮导轨上方加主动隔振单元，减少气膜波动对移相的影响。同时，机构可以做二维平移和旋转的运动，可以在拼接过程中实现绝对测量。本发明还提供一种使用子孔径拼接干涉仪系统测量光学镜片面形的方法。

主权项

一种子孔径拼接干涉仪系统，其特征在于，包括：地面隔振单元、隔断层、填充物、第一主动隔振单元、平台、气浮导轨、第一平台、第二主动隔振单元、第二平台、移动机构、转台、待测光学镜片、激光干涉仪、衍架，透明罩，其中：在地面隔振单元的坑内安置隔断层，隔断层，用于与周围地下物质隔断；在隔断层内放置有填充物，填充物，用于减少地面振动的传导；在地面隔振单元、隔断层、填充物上面放置第一主动隔振单元，第一主动隔振单元，用于将地面振动隔离；在第一主动隔振单元上放置平台；在平台的承载台面上放置气浮导轨；在气浮导轨上方放置第一平台；在第一平台上方放置第二主动隔振单元，第二主动隔振单元，用于隔离气浮导轨产生的气膜波动；在第二主动隔振单元上面放置第二平台；第二平台上方放置移动机构，第二平台，用于承载移动机构，同时第二平台的两侧有配重，用于降低承载重心；在移动机构上方放置转台；转台上方放置待测光学镜片，转台，控制待测光学镜片的转动，用于对待测光学镜片做绝对测量标定，把激光干涉仪参考面的误差测量出来；移动机构，控制待测光学镜片移动，用于调整待测光学镜片在x，y方向倾斜，用于调整待测光学镜片在x，y，z方向位移参数；气浮导轨，用于控制气浮导轨上的第一平台、第二主动隔振单元、第二平台、移动机构、转台、待测光学镜片进行二维运动；激光干涉仪位于待测光学镜片的上方，用于测量待测光学镜片的待测平面的面形，激光干涉仪含有参考平面；衍架，用于固定激光干涉仪，并且衍架固定在平台上；透明罩，其固定在平台上；透明罩内部放置气浮导轨、第一平台、 第二主动隔振单元、第二平台、移动机构、转台、待测光学镜片、激光干涉仪和衍架，用于使测量环境与周围空气隔离。