一种提高靶室晶片传输效率的方法

摘要

本发明公开了一种提高靶室晶片传输效率的方法，包括：主机械手(1)，副机械手(2)，定向台(3)和靶台(4)四大功能模块，主机械手(1)下又有送回到片库(5)、送到定向台(6)、从片库取片(7)、从靶台取片(8)、状态出错(17)和任务结束(19)几个子模块，副机械手(2)下又有送片到靶台(9)和定向台取片(10)2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片(11)、等待主机械手送片(12)和定向(13)3个子模块，靶台下又有注入(14)、等待副机械手送片(15)和等待主机械手取片(16)3个子模块，而每个大模块中都有运动出错(18)这个模块。其特征在于：其中所述主机械手(1)、副机械手(2)、定向台(3)和靶台(4)之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗。本发明可以使靶室内同时传送3片，最大化的提高机械手的利用率，缩短空闲时间，提高传输效率。

主权项

一种提高靶室晶片传输效率的方法，，包括：主机械手(1)，副机械手(2)，定向台(3)和靶台(4)四大功能模块，主机械手(1)下又有送回到片库(5)、送到定向台(6)、从片库取片(7)、从靶台取片(8)、状态出错(17)和任务结束(19)几个子模块，副机械手(2)下又有送片到靶台(9)和定向台取片(10)2个子模块，定向台下又有等待副机械手取片(11)、等待主机械手送片(12)和定向(13)3个子模块，靶台下又有注入(14)、等待副机械手送片(15)和等待主机械手取片(16)3个子模块，而每个大模块中都有运动出错(18)这个模块。其特征在于：其中所述主机械手(1)、副机械手(2)、定向台(3)和靶台(4)之间执行自己内部的事件，统一由上层模块来协调调配，避免程序内部和流程上的混乱现象，使程序和流程更简洁、更明朗。