微开关及其制造方法

摘要

一种微开关，其包括两个驱动电极、两个开关电极、电性连接两开关电极的电源及绝缘的弹性支架，弹性支架包括基板、自基板倾斜延伸的倾斜部及自倾斜部延伸且平行于基板的悬臂，驱动电极包括上驱动电极及与之对应的下驱动电极，开关电极包括对应的上、下开关电极，上开关电极及上驱动电极固定于悬臂，下开关电极及下驱动电极则固定于基板，所述两驱动电极中至少一个具有磁性。微开关设有具有磁性的驱动电极，从而减少了提供静电力的驱动电压。

主权项

一种微开关，其包括两个驱动电极、两个开关电极、电性连接两开关电极的电源及绝缘的弹性支架，弹性支架包括基板、自基板倾斜延伸的倾斜部及自倾斜部延伸且平行于基板的悬臂，驱动电极包括上驱动电极及与之对应的下驱动电极，开关电极包括对应的上、下开关电极，上开关电极及上驱动电极固定于悬臂，下开关电极及下驱动电极则固定于基板，其特征在于：所述两驱动电极中至少一个具有磁性。