固态图像捕获成像装置、其制造方法、其驱动方法和电子设备

摘要

本发明提供一种固态图像捕获成像装置、其制造方法、其驱动方法和电子设备。该固态成像装置，包括：衬底；衬底电压供应装置，在光接收阶段，将第一电势施加到所述衬底，在非光接收阶段，将第二电势施加到所述衬底；以及多个像素，包括：光接收部分，响应于接收的光产生信号电荷；存储电容器，存储和保持所述信号电荷；暗电流抑制部分；电子快门调节层，调节所述衬底中的电势分布，使得信号电荷被清扫到所述衬底的背面侧；读出栅极部分，读出所述存储电容器中所存储的所述信号电荷；和垂直转移寄存器，沿垂直方向转移所述读出栅极部分所读出的所述信号电荷。

主权项

一种固态成像装置，包括：衬底，所述衬底包括第一导电类型半导体衬底和形成于所述半导体衬底上的第二导电类型半导体阱层；衬底电压供应装置，在光接收阶段，将第一电势施加到所述衬底，在非光接收阶段，将第二电势施加到所述衬底；以及多个像素，包括：光接收部分，形成在所述衬底的表面侧并响应于接收的光产生信号电荷；存储电容器，邻接于所述光接收部分形成，所述存储电容器存储和保持在所述第一电势施加到所述衬底时所述光接收部分产生并从其转移而来的所述信号电荷；暗电流抑制部分，形成于所述光接收部分和所述存储电容器上；电子快门调节层，在所述衬底中形成于和所述光接收部分相对并与所述存储电容器偏离了预定的偏移区域的区域中，所述电子快门调节层由位于所述半导体衬底和所述半导体阱层之间的第一导电类型杂质区域形成，所述快门调节层调节所述衬底中的电势分布，使得在所述第二电势施加到所述衬底时所述光接收部分中产生的信号电荷被清扫到所述衬底的背面侧；读出栅极部分，读出所述存储电容器中所存储的所述信号电荷；和垂直转移寄存器，沿垂直方向转移所述读出栅极部分所读出的所述信号电荷。