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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE AND SAMPLE HOLDING DEVICE FOR ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 EP2398036(A4) 申请公布日期 2013.01.09
申请号 EP20100741027 申请日期 2010.01.20
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 YAGUCHI, TOSHIE;NAGAKUBO, YASUHIRA;KAMINO, TAKEO;WATABE, AKIRA
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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