一种涂层刀片生产用装载舟皿

摘要

一种涂层刀片装载舟皿,装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥;料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔。分体式的料盘和垫锥可使垫锥整体体积减小，最大限度的消除因装载工具占用炉内空间过大而在化学气相沉积反应过程中对气氛分配、消耗、流动所造成的影响；减小锥体底面积后可增大单层料盘上垫锥的装载量，降低垫锥装载刀片后的总体高度可实现增加炉内装舟层数，充分利用了炉内空间，增加了设备的产能。锥体底面积减小还可增加料盘开孔率，改善了炉内气体的流动性，提高了刀片涂覆的均匀性、厚度一致性。上述装载舟皿应用在涂层刀片生产中时对涂层生成反应影响小、产品质量稳定。

主权项

一种涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于：所述装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥；所述的料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔。