发明名称 FRAME-SHAPED MEMS PIEZORESISTIVE RESONATOR
摘要
申请公布号 EP2347506(B1) 申请公布日期 2013.01.09
申请号 EP20090740991 申请日期 2009.10.13
申请人 NXP B.V. 发明人 PHAN LE, KIM;VAN BEEK, JOZEF, T.M
分类号 H03H9/02;H03H9/24 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
主权项
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