发明名称 加速度传感器
摘要 本发明涉及一种加速度传感器,具有一衬底、至少一个隔板(1,12,13)和一振动质量(9),其中,所述隔板(1,12,13)和所述振动质量(9)设置在所述衬底的平面上方。在此,所述振动质量(9)至少设置在所述隔板(1,12,13)的两侧上,并且能弹动地悬挂在所述隔板(1,12,13)上。所述隔板(1,12,13)借助至少一个锚定部(41,42)锚定在所述衬底上。本发明的核心在于,所述至少一个锚定部(41,42)设置在所述振动质量(9)的质量重心(10)之外。
申请公布号 CN101903778B 申请公布日期 2013.01.09
申请号 CN200880110224.0 申请日期 2008.09.24
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 D·雷勒
分类号 G01P15/08(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I 主分类号 G01P15/08(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧
主权项 加速度传感器,具有一衬底、一个中间隔板(1)、一个右隔板(2)和一个左隔板(3)以及一振动质量(9),其中,所述右隔板(2)和所述左隔板(3)平行于所述中间隔板(1)在所述中间隔板的右侧或左侧延伸,其中,所述中间隔板(1)和所述振动质量(9)设置在所述衬底的平面上方,其中,所述振动质量(9)至少设置在所述中间隔板(1)的两侧上,其中,所述振动质量(9)能弹动地悬挂在所述中间隔板(1)上,和其中,所述中间隔板(1)借助一个或两个锚定部(41,42)锚定在所述衬底上,其特征在于,所述一个或两个锚定部(41,42)设置在所述振动质量(9)的质量重心(10)之外。
地址 德国斯图加特