一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法

摘要

本发明涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜，然后在周期多层膜上镀制B4C作为保护层。与现有技术相比，本发明采用熔点高、相态稳定的金属Zr作为多层膜的吸收层，制作出的Mg/Zr极紫外多层膜反射镜克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜热稳定性差的缺点。同时，在极紫外波段Zr的光学常数合适，Mg/Zr多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜优异的光学性能。因此，兼顾了光学性能和热稳定性的Mg/Zr多层膜反射镜，适用于同步辐射光源、空间观测等工作环境温度高的极紫外波段应用。

主权项

一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜包括基底(1)，在基底(1)上依次层叠有打底层(2)、Mg/Zr周期多层膜(5)及保护层(6)，其中Mg/Zr周期多层膜(5)由Mg膜(3)和Zr膜(4)周期性交替镀制构成。