透射型样品振幅和相位成像装置和方法

摘要

一种透射型样品振幅和位相成像的装置和方法，通过移动扫描小孔光阑用其在一定距离处的衍射斑作为样品的照明光，并在小孔光阑在成像系统中的像面内用探测器其记录小孔光阑在不同位置时的衍射光斑，通过计算机进行迭代运算的方式获得样品的复振幅透过率函数，不仅能够获得振幅信息还能够实现相位成像。同时每一幅衍射图样不仅能够记录衍射斑光强分布，还能够通过相关性运算获得与之相对应的小孔光阑的实际位置，实现不依赖平移台精度的再现像重建，克服了平移台精度不足带来的误差。

主权项

一种透射型振幅和位相成像装置，特征在于其构成包括相干光源(1)，沿该相干光源(1)的输出光束方向依次是光束空间滤波器(2)、准直透镜(3)、小孔光阑(4)、待测透射型样品(5)、透镜组(6)、探测器(8)，所述的小孔光阑(4)固定在所述的二维电动平移台(10)上，该小孔光阑(4)在所述的二维电动平移台(10)的驱动下在垂直于光束传播方向的平面内移动，在所述的透镜组(6)的小孔光阑(4)的像平面(7)设置所述的探测器(8)，该探测器(8)和二维电动平移台（10）与所述的计算机(9)相连；相干光源(1)发出的光经过光束空间滤波器(2)后变成点光源并经过所述的准直透镜(3)后变为平行光，经过小孔光阑(4)的出射光波作为待测透射型样品(5)的照明光，即照明光为小孔光阑(4)的衍射光斑，调整小孔光阑(4)、待测透射型样品(5)到透镜组(6)的距离大于其焦距，并且待测透射型样品(5)的出射光波经过透镜组(6)后在小孔光阑(4)的像平面(7)上成放大的实像，并由放在像平面(7)上的探测器(8)接收并记录光斑分布送所述的计算机(9)，同时探测器(8)和二维电动平移台由计算机(9)进行控制。