| 发明名称 |
LASER DEVICE, LASER SYSTEM, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2542936(A1) |
申请公布日期 |
2013.01.09 |
| 申请号 |
EP20110710044 |
申请日期 |
2011.03.02 |
| 申请人 |
GIGAPHOTON INC. |
发明人 |
NOWAK, KRZYSZTOF;MORIYA, MASATO;WAKABAYASHI, OSAMU |
| 分类号 |
G02B27/10;G02B6/42;H01S3/223;H01S3/23;H01S5/40;H05G2/00 |
主分类号 |
G02B27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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