一种电子气体吸附剂的改性方法

摘要

一种电子气体吸附剂的改性方法，它涉及一种吸附剂的改性方法。本发明是要解决现有电子气体吸附剂的吸附量低的问题。改性方法：一、将电子气体吸附剂置入吸附器中进行加热；二、从入口处向吸附器中匀速通入氢气与三甲基铝蒸汽的混合气体，并以与通入混合气体的同样速度从出口处排出混合气体。本发明使用三甲基铝作为负载金属，对活性炭、沸石，以及硅胶进行改性，改性后吸附能力得到了增强，吸附量提高了25～40％。本发明应用于微电子领域。

主权项

一种电子气体吸附剂的改性方法，其特征在于电子气体吸附剂的改性方法按以下步骤进行：一、将电子气体吸附剂置入吸附器中进行加热；其中，所述电子气体吸附剂为沸石、硅胶或活性炭；沸石和活性炭的加热温度为550～700℃，加热时间为1.5～3h；硅胶的加热温度为150～220℃，加热时间为1.5～3h；二、按氢气与三甲基铝蒸汽的体积比为(6～7)∶(3～4)，从入口处向吸附器中匀速通入氢气与三甲基铝蒸汽的混合气体，并以与通入混合气体的同样速度从出口处排出混合气体，混合气体的通入时间为1.5～4h，混合气体的通入量为：每1t电子气体吸附剂所用混合气体的体积为180～500L。