发明名称 连续加压装置
摘要 本发明提供了一种连续加压装置。该连续加压装置包括:圆筒(6);压电陶瓷(4),设置于圆筒(6)内;滑块(3),设置于圆筒(6)内,压设于压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿圆筒(6)的内侧壁上下滑动;对顶砧(1),其部分的设置于圆筒(6)内,压设于滑块(3)的上表面。本发明可以对测试样品连续、精确地加压。
申请公布号 CN102866065A 申请公布日期 2013.01.09
申请号 CN201210332942.0 申请日期 2012.09.10
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 武雪飞;丁琨;窦秀明;孙宝权
分类号 G01N3/18(2006.01)I;G01N3/02(2006.01)I 主分类号 G01N3/18(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种连续加压装置,其特征在于,包括:圆筒(6);压电陶瓷(4),设置于所述圆筒(6)内;滑块(3),设置于所述圆筒(6)内,压设于所述压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿所述圆筒(6)的内侧壁上下滑动;对顶砧(1),其部分的设置于所述圆筒(6)内,压设于所述滑块(3)的上表面。
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
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