发明名称 |
连续加压装置 |
摘要 |
本发明提供了一种连续加压装置。该连续加压装置包括:圆筒(6);压电陶瓷(4),设置于圆筒(6)内;滑块(3),设置于圆筒(6)内,压设于压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿圆筒(6)的内侧壁上下滑动;对顶砧(1),其部分的设置于圆筒(6)内,压设于滑块(3)的上表面。本发明可以对测试样品连续、精确地加压。 |
申请公布号 |
CN102866065A |
申请公布日期 |
2013.01.09 |
申请号 |
CN201210332942.0 |
申请日期 |
2012.09.10 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
武雪飞;丁琨;窦秀明;孙宝权 |
分类号 |
G01N3/18(2006.01)I;G01N3/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01N3/18(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种连续加压装置,其特征在于,包括:圆筒(6);压电陶瓷(4),设置于所述圆筒(6)内;滑块(3),设置于所述圆筒(6)内,压设于所述压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿所述圆筒(6)的内侧壁上下滑动;对顶砧(1),其部分的设置于所述圆筒(6)内,压设于所述滑块(3)的上表面。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |