包括热辐射屏蔽的用于西门子反应器的钟罩

摘要

本发明涉及一种用于经由化学气相沉积工艺在多个加热的硅棒上沉积多晶硅的西门子反应器的钟罩。该钟罩包括导热内壁，该内壁具有至少部分限定内部空间的内表面，该内部空间适于在其内接纳所述多个加热的硅棒。热辐射屏蔽位于内部空间中，该热辐射屏蔽与所述内壁的内表面大体上邻接并与该内表面处于相对的关系。所述热辐射屏蔽基本上不透过从在所述钟罩的内部空间中的所述多个加热的硅棒发出的热辐射。

主权项

一种用于通过化学气相沉积工艺在多个加热的硅棒上沉积多晶硅的西门子反应器的钟罩，所述钟罩包括：导热内壁，该内壁具有至少部分限定内部空间的内表面，该内部空间适于在其内接纳所述多个加热的硅棒；和在所述内部空间中的热辐射屏蔽，该热辐射屏蔽与所述内壁的内表面大体上邻接并与该内表面处于相对的关系，其中，所述热辐射屏蔽基本上不透过从在所述钟罩的内部空间中的所述多个加热的硅棒发出的热辐射。