一种微动定位平台改变行程范围的装置

摘要

本实用新型公开了一种微动定位平台改变行程范围的装置。该装置由基座、变放大倍数杠杆、复合平行四杆导向机构以及运动平台构成。基座的下方还开有两个平行的凹槽，两个压电陶瓷驱动器分别置于各自的凹槽中，在基座中部向下设置变放大倍数杠杆，变放大倍数杠杆上部的输出铰链与两个平行的柔性铰链中部相铰接，分别通过预紧螺钉使变放大倍数杠杆下部的两个输入铰链分别与两压电陶瓷驱动器相接触。变放大倍数杠杆具有一个固定铰链与基座相连接，两个输入铰链可独立接收压电陶瓷驱动器的输入位移，将放大后的位移输出至运动平台，使平台的输出位移具有两种行程范围，从而实现小行程高精度、或精度要求稍低但行程要求较大的复合行程范围功能。

主权项

一种微动定位平台改变行程范围的装置，包括基座（9）、变放大倍数杠杆（11）、复合平行四杆导向机构和运动平台（15）；运动平台（15）安装在基座（9）中部，复合平行四杆导向机构的第二组两个平行的柔性铰链（2‑1、2‑2），第四组两个平行的柔性铰链（4‑1、4‑2），第五组两个平行的柔性铰（5‑1、5‑2）及第八组两个平行的柔性铰链（8‑1、8‑2）分布于运动平台的四周；其中：1）第一组两个柔性铰链（1‑1、1‑2）的一端分别与基座（9）第一边的两端铰接，第一组两个柔性铰链（1‑1、1‑2）的另一端分别与第二组两个平行的柔性铰链（2‑1、2‑2）的一端铰接，第二组两个平行的柔性铰链（2‑1、2‑2）的另一端分别与运动平台（15）的第一边铰接；2）第三组两个柔性铰链（3‑1、3‑2）的一端分别与基座（9）第二边的两端铰接，第三组两个柔性铰链（3‑1、3‑2）的另一端分别与第二组两个平行的柔性铰链（4‑1、4‑2）的一端铰接，第二组两个平行的柔性铰链（4‑1、4‑2）的另一端分别与运动平台（15）的第二边铰接；3）第六组两个柔性铰链（6‑1、6‑2）的一端分别与基座（9）第三边的两端铰接，第六组两个柔性铰链（6‑1、6‑2）的另一端分别与第五组两个平行的柔性铰链（5‑1、5‑2）的一端铰接，第五组两个平行的柔性铰链（5‑1、5‑2）的另一端分别与运动平台（15）的第三边铰接；4）第七组两个柔性铰链（7‑1、7‑2）的一端分别与基座（9）第四边的两端铰接，第七组两个柔性铰链（7‑1、7‑2）的另一端分别与第八组两个平行的柔性铰链（8‑1、8‑2）的一端铰接，第八组两个平行的柔性铰链（8‑1、8‑2）的另一端分别与运动平台（15）的第四边铰接；其特征在于：基座（9）第三边一侧下方还开有与第六组两个柔性铰链（6‑1、6‑2）平行的两个凹槽，第Ⅱ压电陶瓷驱动器和第Ⅰ压电陶瓷驱动器分别置于各自的凹槽中，在基座（9）第二边中部向下设置变放大倍数杠杆（11），变放大倍数杠杆（11）上部的输出铰链（10）与第二组两个平行的柔性铰链（4‑1、4‑2）中部相铰接，分别通过侧面的拧紧弹簧预紧螺钉（14‑1、14‑2）使变放大倍数杠杆（11）下部的一组两个输入铰链（12‑1、12‑2）分别与第Ⅱ压电陶瓷驱动器和第Ⅰ压电陶瓷驱动器相接触。