| 发明名称 |
Work function engineering in transistors including a high dielectric constant gate insulator and metal gate (HKMG) |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2492705(A) |
申请公布日期 |
2013.01.09 |
| 申请号 |
GB20120019010 |
申请日期 |
2011.04.05 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MICHAEL P CHUDZIK;WILLIAM K HENSON;UNOH KWON |
| 分类号 |
H01L29/66;H01L21/8234;H01L27/085;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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