| 发明名称 | 洁净室及其自动清洁盒 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室内设有粒子监测单元，该洁净室内还设有自动清洁盒，该自动清洁盒用于对该粒子监测单元进行清洁。本发明公开的洁净室可以在洁净室内部对卡匣和粒子监测单元进行清洁，其方便快捷，有效地降低了人力成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102861737A | 申请公布日期 | 2013.01.09 |
| 申请号 | CN201210364804.0 | 申请日期 | 2012.09.26 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 陈增宏;吴俊豪;林昆贤;齐明虎;郭振华;杨卫兵 |
| 分类号 | B08B5/02(2006.01)I;B08B5/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B5/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人 | 何青瓦 |
| 主权项 | 一种洁净室，用于存放玻璃基板，所述洁净室内设有粒子监测单元，其特征在于，所述洁净室内还设有自动清洁盒，所述自动清洁盒用于对所述粒子监测单元进行清洁。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区 | ||