发明名称 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法
摘要 本发明提供了一种新型的用于太阳能硅片线切割砂浆生产方法。该切割砂浆生产使用了一种特殊的加工方式将不同用途和目的添加剂(a.聚乙二醇、b.微粒(碳化硅,氧化铈,磨粉)c.分散剂、d.表面活性剂、e.消泡剂、f.金属腐蚀抑制剂、g.纳米成膜剂)用分时,分步,添加和合成方式加工成切割或抛光砂浆,该方法能提高砂浆中的碳化硅微粒在聚乙二醇或水中的稳定性、悬浮性及再分散能力,同时提高切割效率,确保切片工艺长期稳定,产品优率提高,降低切割综合成本,是一种节约型和高回报率的硅片线切割砂浆。
申请公布号 CN101928630B 申请公布日期 2013.01.09
申请号 CN201010175731.1 申请日期 2010.05.19
申请人 上海甲冠半导体科技有限公司 发明人 周荣华;盛忠;龚波一
分类号 C10M169/04(2006.01)I;C10M107/32(2006.01)I;C10M143/10(2006.01)I;C10M177/00(2006.01)I 主分类号 C10M169/04(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 李辰
主权项 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法,其特征在于,称取1100公斤聚乙二醇200,纳米成膜剂18公斤,分散剂0.8公斤,表面活性剂0.5公斤,消泡剂0.5公斤,金属腐蚀抑制剂0.2公斤,碳化硅微粒500公斤;a.将18公斤的纳米成膜剂缓慢加入到1100公斤聚乙二醇200中,边搅拌边加入用20分钟;b.将0.8公斤分散剂慢慢滴加到聚乙二醇200中,持续搅拌30分钟后同时将500公斤碳化硅微粒用特殊装置,分时和分段加入1100公斤聚乙二醇200中;c.同时将0.5公斤表面活性剂和0.5公斤消泡剂分多管路随加碳化硅的速度在3小时滴加完成;d.最后将0.2公斤金属腐蚀抑制剂滴加进砂浆中充分搅拌2小时,再将已形成的砂浆搅拌一小时后检测砂浆密度和粘度;其中,所述分散剂为5000‑10000分子量的苯乙烯类多聚物、表面活性剂为环氧化合物、消泡剂为甲基硅油乳化液、金属腐蚀抑制剂为无机盐类、纳米成膜剂为苯乙烯类多聚物。
地址 201203 上海市浦东新区华东路3999号