蓝宝石单晶炉隔热保温系统

摘要

本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的隔热保温系统，包括中隔热层与下隔热层，中隔热层内层为中心隔热钨屏，中心隔热钨屏和中隔热层通过定位销装配在腔体内壁设有的支撑钢板上，中心隔热钨屏以及中隔热层各层之间均通过中隔热层间隔钨丝弹簧均匀隔开；中心隔热钨屏和中隔热层的顶部设有上隔热层，下隔热层则装配于下法兰的下铜盘上；上隔热层中心设有塔式隔热层，塔式隔热层通过悬吊螺栓与上法兰连接；下隔热层、上隔热层、塔式隔热层各层间设有对应的定位孔，定位孔间设有等高的钼隔环，钼螺栓分别穿过上隔热层、塔式隔热层中各定位孔和层间钼隔环后通过钼螺母固定，而下隔热层中由钨柱穿过定位孔和层间钼隔环，并将其串联固定。

主权项

一种用于蓝宝石单晶炉的隔热保温系统，包括中隔热层与下隔热层，其特征在于：a)中隔热层内层为中心隔热钨屏，中心隔热钨屏和中隔热层通过定位销装配在腔体内壁设置的支撑钢板上，中心隔热钨屏以及中隔热层各层之间均通过中隔热层间隔钨丝弹簧均匀隔开；b)中心隔热钨屏和中隔热层的顶部设有匹配的上隔热层，下隔热层则装配于下法兰的下铜盘上，与中心隔热钨屏和中隔热层匹配；c）上隔热层中心设有同心的塔式隔热层，所述的塔式隔热层通过悬吊螺栓与上法兰连接并与上隔热层水平排布形成配合；d）下隔热层、上隔热层、塔式隔热层各层间设有对应的定位孔，层间对应的定位孔之间设有等高的钼隔环，上隔热层、塔式隔热层中钼螺栓穿过各定位孔和层间钼隔环后，通过钼螺母固定，而下隔热层中由钨柱穿过定位孔和层间钼隔环，并将其串联固定。