一种晶体生长炉

摘要

本实用新型公开了一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体内的坩埚和主加热器，所述主加热器设在坩埚的外面，所述坩埚和主加热器外设有隔热屏，其中，所述主加热器通过钨环和钨棒电极的一端相连，所述钨棒电极的另一端与腔体上的水冷电极相连。本实用新型提供的晶体生长炉，通过炉体侧壁上的电极引出结构形成一套完整的回路，水冷夹层位于腔体内外筒中，真空腔体内没有冷却水循环，没有冷却水泄漏的风险，从而提高加热效率，避免了传统结构焊接隐患带来的损失。

主权项

一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体（4）内的坩埚（7）和主加热器（6），所述主加热器（6）设在坩埚（7）的外面，所述坩埚（7）和主加热器（6）外设有隔热屏，其特征在于，所述主加热器（6）通过钨环（2）和钨棒电极（1）的一端相连，所述钨棒电极（1）的另一端与腔体（4）上的水冷电极（9）相连。