一种自适应蓝宝石长晶炉

摘要

本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉，尤其是一种热交换法蓝宝石长晶炉。包括炉体，包含炉盖和炉体底板的密闭容器；坩埚，用于蓝宝石晶体生长的容器；保温装置，炉体内围绕坩埚外周设置的保温装置，用于维持坩埚热场；加热装置，用于提供蓝宝石生长所需热量的装置；换热装置，包括设于坩埚底部的托座、与托座相连的换热管以及提供换热管中冷却介质循环的压缩机，换热管炉外部分配有卡套机构，换热管通过该卡套机构与炉体底板固定连接；其特征在于所述卡套机构的卡套接头和炉体底板之间设有一段密闭的弹性伸缩波纹管。本实用新型能适应不同重量的载重，能始终保持换热管的外形完整及与坩埚相对位置的稳定。

主权项

一种自适应蓝宝石长晶炉，包括炉体，包含炉盖和炉体底板的密闭容器；坩埚，用于蓝宝石晶体生长的容器；保温装置，炉体内围绕坩埚外周设置的保温装置；加热装置；换热装置，包括设于坩埚底部的托座、与托座相连的换热管以及提供换热管中冷却介质循环的压缩机，换热管炉外部分配有卡套机构，换热管通过该卡套机构与炉体底板固定连接；其特征在于所述卡套机构的卡套接头和炉体底板之间设有一段密闭的弹性伸缩波纹管。