坩埚、真空蒸镀系统及蒸镀方法

摘要

所述坩埚包括一埚体和一多孔盖。该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和一实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开口，该埚体的包括该开口的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括一邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热。该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开口，该多孔盖包括多个通气孔。其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。本发明设置了接受电子枪加热的实心部，从而避免了直接用电子枪加热膜料。本发明还涉及一种使用该坩埚的真空蒸镀系统及蒸镀方法。

主权项

一种坩埚，其特征在于，包括：一埚体，该埚体包括彼此相对的两端面及分别从其中一端面延伸至另一端面的一空心部和一实心部，该空心部包括一容纳腔，该容纳腔在其中一端面形成有开口，该埚体的包括该开口的端面形成有台阶，该台阶位于该空心部和该实心部之间，该实心部包括一邻接该台阶的受热端，该受热端用于接受电子枪加热；一多孔盖，该多孔盖盖于该空心部上，用于封堵该开口，该多孔盖包括多个通气孔；其中，该埚体和该多孔盖由高熔点、传热性良好的材料制成。