发明名称 |
多流向元胞集成的LDMOS功率器件 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种LDMOS功率器件,包括:半导体基底;多边形状的LDMOS阳极元胞和多边形状的LDMOS阴极元胞,其中,所述阳极元胞和阴极元胞交错排列于所述半导体基底之中;位于所述阳极元胞和阴极元胞之间的漂移区;将所有LDMOS阳极元胞连接得到的正极,以及将所有LDMOS阴极元胞连接得到的负极。本发明公开的上述方案,通过在器件的阳极元胞和阴极元胞之间形成多流形式的电流,电流产生的功率耗散分布更加均匀,从而使器件具有更好的散热性能,提高了其可靠性与稳定性。此外,本发明公开的上述方案,使得采用多边形元胞集成结构的多流向元胞集成LDMOS功率器件具有更高的集成度以及更小的栅电阻Rg。 |
申请公布号 |
CN102867826A |
申请公布日期 |
2013.01.09 |
申请号 |
CN201110187985.X |
申请日期 |
2011.07.06 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
姜一波;杜寰 |
分类号 |
H01L27/088(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/088(2006.01)I |
代理机构 |
北京市立方律师事务所 11330 |
代理人 |
郑瑜生 |
主权项 |
一种LDMOS功率器件,其特征在于,包括:半导体基底;多边形状的LDMOS阳极元胞和多边形状的LDMOS阴极元胞,其中,所述阳极元胞和阴极元胞交错排列于所述半导体基底之中;位于所述阳极元胞和阴极元胞之间的漂移区;将所有LDMOS阳极元胞连接得到的正极,以及将所有LDMOS阴极元胞连接得到的负极。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |