发明名称 多流向元胞集成的LDMOS功率器件
摘要 本发明实施例公开了一种LDMOS功率器件,包括:半导体基底;多边形状的LDMOS阳极元胞和多边形状的LDMOS阴极元胞,其中,所述阳极元胞和阴极元胞交错排列于所述半导体基底之中;位于所述阳极元胞和阴极元胞之间的漂移区;将所有LDMOS阳极元胞连接得到的正极,以及将所有LDMOS阴极元胞连接得到的负极。本发明公开的上述方案,通过在器件的阳极元胞和阴极元胞之间形成多流形式的电流,电流产生的功率耗散分布更加均匀,从而使器件具有更好的散热性能,提高了其可靠性与稳定性。此外,本发明公开的上述方案,使得采用多边形元胞集成结构的多流向元胞集成LDMOS功率器件具有更高的集成度以及更小的栅电阻Rg。
申请公布号 CN102867826A 申请公布日期 2013.01.09
申请号 CN201110187985.X 申请日期 2011.07.06
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 姜一波;杜寰
分类号 H01L27/088(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H01L27/088(2006.01)I
代理机构 北京市立方律师事务所 11330 代理人 郑瑜生
主权项 一种LDMOS功率器件,其特征在于,包括:半导体基底;多边形状的LDMOS阳极元胞和多边形状的LDMOS阴极元胞,其中,所述阳极元胞和阴极元胞交错排列于所述半导体基底之中;位于所述阳极元胞和阴极元胞之间的漂移区;将所有LDMOS阳极元胞连接得到的正极,以及将所有LDMOS阴极元胞连接得到的负极。
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