一种隔离腔室及使用该种隔离腔室制备太阳电池材料的方法

摘要

本发明提供了用于连续形成太阳电池材料的装置和方法，其包括降低处于不同压力下的相邻形成区之间的交叉污染的一隔离腔室。

主权项

一种隔离腔室，用于分隔太阳电池材料生产中使用的相邻的沉积区，沉积区处于不同的压力下，隔离腔室大体上消除了来自相邻沉积区的挥发物的交叉污染，一基板前移穿过沉积区用于接收太阳电池材料，所述隔离腔室包括：一第一腔室，用于接收基板，该基板在第一腔室中的处于一第一压力下；一真空源，其连接至第一腔室，该真空源从第一腔室中抽取挥发物；一第二腔室，其邻近于用于接收基板的第一腔室定位，基板大体上以薄片离开第一腔室的压力进入第二腔室；至少一个差分嵌件，其定位在第二腔室中，该至少一个差分嵌件具有一由一种低摩擦材料制成的第一侧面，该低摩擦材料第一侧面用于与基板相配合；至少一个差分嵌件的第二侧面为一可调节阻挡块，该可调节阻挡块邻近薄片设置，至少一个差分嵌件形成一槽，该槽限制来自第一腔室的未反应挥发物进入该第二腔室；一真空源，其连接至该第二腔室，该真空源从第二腔室中抽取未反应挥发物，该真空源降低第二腔室中的压力。