| 发明名称 | 晶圆贴片机 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种晶圆贴片机，包括晶圆存放机构、晶圆转移机构、晶圆贴片机构和晶圆传送机构，所述晶圆存放机构包括一晶圆盒，所述晶圆转移机构包括一金属提篮，所述晶圆贴片机构包括机台、设置在所述机台上的铁圈传送装置、铁圈和贴膜滚轮，在所述金属提篮的上方设置有离子枪。本实用新型的有益效果主要是避免晶圆离开晶圆盒上升瞬间和揭开晶圆正面的保护膜瞬间产生的静电击穿晶圆芯片电路造成晶圆报废的风险发生。 | ||
| 申请公布号 | CN202662577U | 申请公布日期 | 2013.01.09 |
| 申请号 | CN201220269074.1 | 申请日期 | 2012.06.08 |
| 申请人 | 矽品科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 廖明俊;赵亮;孙俊杰;蒋秦苏 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人 | 陆明耀;姚姣阳 |
| 主权项 | 一种晶圆贴片机，包括晶圆（6）、晶圆存放机构、晶圆转移机构、晶圆贴片机构和晶圆传送机构，所述晶圆存放机构包括一晶圆盒，所述晶圆转移机构包括一金属提篮（1），所述晶圆贴片机构包括机台（3）、设置在所述机台（3）上的铁圈框架传送装置（4）、铁圈框架（2）和贴膜滚轮，其特征在于：在所述金属提篮（1）的上方设置有离子枪。 | ||
| 地址 | 215123 江苏省苏州市工业园区凤里街288号 | ||