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发明名称
摘要
申请公布号 JP5111287(B2) 申请公布日期 2013.01.09
申请号 JP20080205956 申请日期 2008.08.08
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;H01L21/20;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/56;C23C14/58;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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