| 主权项 |
一种表面感测装置，包括：基座；探头，其用于与待测量表面建立并保持接触或无接触测量连接，所述探头通过至少一个接头可移动地链接至所述基座，其中所述探头包括触针载体(61,161)和具有触针顶端的中空触针(62,62',162)；光学监测系统，其用于测量所述触针顶端相对于所述触针载体的位移，所述光学监测系统包括：发光装置(111,112,113,114,811,812,813,814,825,825',911)，其用于产生光束，所述光束在所述触针(62,62',162)内部被朝着所述触针顶端引导，其中至少部分所述光束被反射，成为沿着光返回路径传播的返回光束；以及用于所述返回光束的检测器装置(141,142,143,144,145,541,542,543,544,841,842,843,844,845,846,941)，其能够产生指示所述触针顶端的位移的电输出信号，其特征在于：所述发光装置以这样的方式构建：使得所述光束具有至少两个具有给定特性分布的可区分的光特性，所述光学监测系统还包括光学编码部件(100,200,300,500,600)，其设置在触针载体(61,161)中的所述光返回路径上，并被设计为将所述返回光束在所述光学编码部件(100,200,300,500,600)上的入射位置(50,50')的信息变换为所述返回光束的特性分布的变化，并且所述检测器装置(141,142,143,144,145,541,542,543,544,841,842,843,844,845,846,941)对所述至少两个可区分的光特性敏感，并被构建用于依据所述返回光束的变化的特性分布产生所述电输出信号。 |
