用于CVD反应器中的电极固定器的保护性装置

摘要

本发明涉及用于保护CVD反应器中电极固定器的装置，所述装置包括电极固定器上的适用于容纳丝棒的电极，所述电极固定器由导电材料构成，并且安装在底板的凹进部分中，其中电极固定器与底板之间的中间空间用密封材料密封，密封材料通过保护体保护，保护体由一个或多个部件制得，并以环状方式布置在电极周围，保护体的高度至少在电极固定器方向的区段增加。

主权项

用于保护CVD反应器中电极固定器的装置，所述装置包括电极固定器上的适用于容纳丝棒的电极，所述电极固定器由导电材料构成，并且安装在底板的凹进部分中，其中电极固定器与底板之间的中间空间借助于密封材料密封，而密封材料通过保护体保护，保护体由一个或多个部件制得，并以环状方式布置在电极周围，保护体的高度至少在电极固定器方向的区段中增加。