以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法

摘要

一种以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法，将待检测的制造装备运动元部件与石墨烯基准样品承载台进行超精密联动控制联接，通过扫描的石墨烯键长数量表征石墨烯基准样品承载台的运动长度，实时检测石墨烯基准样品承载台运动，从而计算出制造装备运动元部件亚纳米级精度的运动长度；将该亚纳米级运动精度检测信号反馈至制造装备运动元部件的运动控制系统，与制造装备运动元部件的预期运动长度相比对，进行制造装备运动元部件的运动长度闭环控制，从而实现亚纳米级精度的误差补偿。该方法能够实现超精密制造装备运动元部件的亚纳米级精度检测及亚纳米级精度补偿，在纳米/亚纳米级精度纳米制造装备实现领域，具有广阔的发展前景。

主权项

一种以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将待加工样品与石墨烯基准样品分别装夹在制造装备样品台上和石墨烯基准样品承载台上；2)将制造装备加工时的运动元部件与石墨烯基准样品台进行超精密联动控制连接，设置好运动时两者之间的位移定量函数关系；3)在制造装备加工运动时，通过扫描经过石墨烯检测窗口的石墨烯键长数量来表征石墨烯基准样品承载台的运动长度，并根据步骤2)中的所述定量函数关系映射制造装备样品台实际运动长度；4)将该实际运动长度反馈至制造装备运动元部件的运动控制系统，与制造装备运动元部件的预期运动长度相比对，进行制造装备运动元部件的运动长度闭环控制，对亚纳米级精度的误差补偿。