能够传送翘曲硅片的硅片传送装置

摘要

本实用新型公开了一种能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，包括左右两个夹持头，夹持头相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽；两个真空槽分别连通一真空管，两根真空管通过三通阀连通真空总管；每根真空管上分别设置有切换阀。本实用新型通过两路相互独立的真空管，分别控制左右两边的真空吸着点的气路压力，并通过各自的阀进行切换。本实用新型能够在不影响硅片的传送精度的情况下，将曲率半径<30米的翘曲硅片顺利传送至工作台。

主权项

一种能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，其特征在于：包括左右两个夹持头，夹持头相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽；两个真空槽分别连通一真空管，两根真空管通过三通阀连通真空总管；每根真空管上分别设置有切换阀。