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发明名称
摘要
申请公布号	JP5117076(B2)	申请公布日期	2013.01.09
申请号	JP20070054332	申请日期	2007.03.05
申请人		发明人
分类号	H01L21/8234;H01L21/28;H01L21/8238;H01L21/8244;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/10;H01L27/11;H01L29/423;H01L29/49	主分类号	H01L21/8234
代理机构		代理人
主权项
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