| 摘要 |
세정 장치(1)는 기류에 의해 세정 매체(5)를 세정 대상물(4)에 충돌시킴으로써 상기 세정 대상물의 세정을 수행한다. 상기 세정 장치(1)는, 비상되는 세정 매체(5)를 위한 공간을 형성하며, 개구부를 구비하는 세정조(cleaning tank)(6); 상기 세정 대상물(4)을 상기 개구부에 보유하는 보유부(holding unit)(3); 상기 개구부의 외측 에지 상에 배치되는 풀 부재(pool member)(19)로서, 상기 개구부는 상기 풀 부재(19)와 상기 세정 대상물(4) 사이에 간극을 갖는, 상기 풀 부재; 및 상기 외측 에지 외부로 누출되어 상기 풀 부재 상에 축적된 상기 세정 매체(5)를 상기 세정조(6) 내로 복귀시키는 세정 매체 수집부(cleaning-medium collecting unit)(8);를 포함한다. |
