发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT COMPRENANT UNE ETAPE D'AMINCISSEMENT AVEC ARRET A DETECTION D'UNE ZONE POREUSE
摘要
申请公布号 FR2957456(B1) 申请公布日期 2013.01.04
申请号 FR20100051714 申请日期 2010.03.10
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 GAILLARD FREDERIC-XAVIER;NEMOUCHI FABRICE
分类号 H01L21/02;H01L21/461 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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