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Verfahren zum Betreiben eines Drucksensors, welcher eine Messmembran, mindestens einen Gegenkörper und einen kapazitiven Wandler mit zwei druckabhängigen Kapazitäten jeweils zwischen Elektroden an der Messmembran und ortsfesten Gegenelektroden aufweist, wobei die Messmembran ein Volumen druckdicht in zwei Teilvolumina teilt, wobei das zweite Teilvolumen in einer Messkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper eingeschlossen ist, wobei eine Auslenkung der Messmembran von einer Druckmessgröße p als Differenz zwischen einem ersten Druck p1 und zweiten Druck p2 in den Teilvolumina abhängt, wobei die Druckmessgröße p aus beiden Kapazitäten folgt, wobei für einen intakten Drucksensor die zweite Kapazität eine vorgegebene Funktion der erstere Kapazität und ggf. der Temperatur ist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Erfassen von Wartepaaren beider Kapazitäten; Prüfen, ob die Wertepaare innerhalb eines Toleranzbereichs der vorgegebenen Funktion entsprechen; und Feststellen einer Veränderung bzw. Beschädigung des Sensors, wenn dies zu lange nicht der Fall ist. |
