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Ein Winkelgeschwindigkeitssensor (100) weist einen Schwingungserzeuger (51), ein Tragesubstrat (10), einen Ankerabschnitt (30), einen Verbindungsbalkenabschnitt, einen Ansteuerabschnitt und einen Erfassungsabschnitt auf. Der Schwingungserzeuger (51) weist einen inneren Schwingungserzeuger (56) und einen äußeren Schwingungserzeuger (57) auf, die in entgegengesetzten Umfangsrichtungen schwingen, wenn sie von dem Ansteuerabschnitt angesteuert werden. Der Verbindungsbalkenabschnitt verbindet den Schwingungserzeuger (51) mit dem Ankerabschnitt und ist in einer z-Richtung und in einer Umfangsrichtung elastisch. Der Verbindungsbalkenabschnitt weist erste Verbindungsbalken (80), die an einem Ende jeweils mit dem äußeren Schwingungserzeuger (57) und am anderen Ende jeweils mit dem inneren Schwingungserzeuger (56) verbunden sind, und zweite Verbindungsbalken (81), die an einem Ende jeweils mit einem Schwingungsknoten (P2) eines entsprechenden ersten Verbindungsbalkens (80) und am anderen Ende jeweils mit dem Ankerabschnitt verbunden sind, auf.
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