| 摘要 |
<p>Eine Durchflusssteuerung (10) umfasst eine Durchflussdetektionseinheit (14), die eine Detektionseinheit (12) zur Erfassung der Durchflussrate eines Fluides aufweist, und eine Durchflusssteuereinheit (18), die mit der Durchflussdetektionseinheit (14) gekoppelt ist und die Durchflussrate des Fluides einstellen kann. Der Detektionssensor (38) der Detektionseinheit (12) umfasst einen thermischen Durchflusssensor, welcher die MEMS-Technologie einsetzt, und die Durchflussrate des Fluides, die durch den Detektionssensor (38) erfasst wurde, wird zu einer Steuereinheit (24) ausgegeben. Außerdem wird in der Durchflusssteuereinheit (18) die Zufuhrrate von Luft zu einem Zufuhrraum (84) durch ein Zufuhrelektromagnetventil (92) und ein Ablasselektromagnetventil (94) geschaltet. Auf der Basis des Zufuhrzustandes der Luft öffnet und schließt ein Steuerventil (58).</p> |
