发明名称 METHOD FOR SELECTIVELY SETTING DROPWISE CONDENSATION ON A CONDENSATION SURFACE BY MEANS OF ION IMPLANTATION
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur gezielten Einstellung einer Tropfenkondensation auf einer Oberfläche (1) eines Substrats (2) sowie ein mit diesem Verfahren oberflächenstrukturiertes Substrat. Hierbei wird ein lonenstrahl (3, 3') auf die Oberfläche (1) des Substrats (2) gerichtet zur Implantation von Ionen in die Oberfläche (1) und einer daraus resultierenden Strukturierung der Oberfläche (1). Der lonenstrahl (3, 3') trifft unter einem gegenüber einer Oberflächennormalen (4) um zwischen 30° und 80° geneigten Winkel auf die Oberfläche (1). Die Oberfläche (1) wird durch den lonenstrahl (3, 3') derart strukturiert, dass sich an der Strukturierung der Oberfläche (1) Tropfen (7, 7', 7") einer Flüssigkeit während der Tropfenkondensation absetzen.</p>
申请公布号 WO2013000929(A1) 申请公布日期 2013.01.03
申请号 WO2012EP62392 申请日期 2012.06.26
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;FRIEDRICH-ALEXANDER-UNIVERSITAET ERLANGEN-NUERNBERG;BURENKOV, ALEXANDER;PICHLER, PETER;FROEBA, ANDREAS;RAUSCH, MICHAEL;LEIPERTZ, ALFRED 发明人 BURENKOV, ALEXANDER;PICHLER, PETER;FROEBA, ANDREAS;RAUSCH, MICHAEL;LEIPERTZ, ALFRED
分类号 C23C14/48;C23C14/22;C23C14/54 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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