多晶炉水冷管与炉体连接装置

摘要

多晶炉水冷管与炉体连接装置属于多晶炉冷却系统中的水冷管与炉体的连接装置；特别涉及在多晶硅铸锭过程中，对电极和炉体各个部件进行冷却的用于控制腔体温度的水冷却连接装置；由总出水管、球阀、第一内接、配管、水流量传感器接口、备用接口、第二内接、三通、宝塔头、橡胶水管和炉体组成；有益效果：简化了冷却水路结构，解决了旧装置容易漏水的问题。

主权项

新型多晶炉水冷管与炉体连接装置，其特征在于：由总出水管（1）、球阀（２）、第一内接（３）、配管（４）、水流量传感器接口（５）、备用接口（６）、第二内接（７）、三通（８）、宝塔头（９）、橡胶水管（10）和炉体（11）组成；总出水管（1）出水口的外螺纹与球阀（２）一端的内螺纹连接，球阀（２）另一端的内螺纹与第一内接（３）一端的外螺纹连接，第一内接（３）另一端的外螺纹与配管（４）一端的内螺纹连接，配管（４）另一端的内螺纹与第二内接（７）一端的外螺纹连接，第二内接（７）另一端的外螺纹与三通（８）一端内的螺纹连接，三通（８）另一端的内螺纹与宝塔头（９）一端的外螺纹连接，宝塔头（９）另一端的外螺纹与橡胶水管（10）紧密连接，橡胶水管（10）直接与炉体（11）连通；配管（４）其上留有水流量传感器接口（５）和备用接口（６）。