| 发明名称 | 一种具有支撑脚的石英母舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于承载石英舟的石英母舟，其特征在于，包括本体和多个支撑脚，其中，所述多个支撑脚形成在本体的底部以用于防止石英母舟过快变形。 | ||
| 申请公布号 | CN202651077U | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201120558141.7 | 申请日期 | 2011.12.28 |
| 申请人 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 发明人 | 潘之炜;季勇;周宇凡;蒋凯 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 臧霁晨;王忠忠 |
| 主权项 | 一种具有支撑脚的石英母舟，其特征在于，包括本体和多个支撑脚，其中，所述多个支撑脚形成在本体的底部以用于防止石英母舟在高温中变形过快。 | ||
| 地址 | 214028 中国无锡市国家高新技术产业开发区信息产业科技园C座2楼 | ||