一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚免烧结涂层制备方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚免烧结涂层制备方法，（1）悬浊液的配制：悬浊液是由15%-25%的氮化硅，70%-80%的去离子水和1%-5%的聚乙烯吡咯烷酮PVP制成的；将去离子水倒入搅拌器内，再将氮化硅缓缓加入去离子水中，搅拌后，再将聚乙烯吡咯烷酮PVP置于搅拌器内进行搅拌，搅拌15-20分钟使悬浊液均匀。（2）涂层的制备：将搅拌好的悬浊液喷涂到坩埚内壁上，将喷涂完成后的坩埚常温下晾干或者在旋转加热器上在70—100℃的温度下保温0.5-2小时。使用该方法形成的氮化硅涂层与坩埚内壁粘附力强，脱落、起泡的几率低，提高了多晶硅铸锭的成品率，降低了铸锭成本，提高了生产效率。

主权项

一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚免烧结涂层制备方法，其特征在于：其包括以下步骤：（1）悬浊液的配制：悬浊液是由以下材料制成的，按照重量百分比计算，15%‑25%的氮化硅，70%‑80%的去离子水和1%‑5%的聚乙烯吡咯烷酮PVP；将所述量的去离子水倒入搅拌器内，再将所述量的氮化硅缓缓加入去离子水中，快速搅拌15分钟后再慢速搅拌15分钟，然后将所述量的聚乙烯吡咯烷酮PVP置于搅拌器内进行搅拌，搅拌15‑20分钟使悬浊液均匀备用；（2）涂层的制备：将坩埚放在旋转加热器上进行加热，坩埚干燥后用上述所述悬浊液喷涂，喷涂时，坩埚温度控制在50～90℃，喷枪与坩埚内壁的喷涂距离控制在25‑30cm之间，喷涂过程中随时用点温计测量坩埚内涂层状态；将喷涂完成后的坩埚常温下晾干或者在旋转加热器上在70—100℃的温度下保温0.5‑2小时。