| 发明名称 | 一种静电卡盘及等离子体加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种静电卡盘及等离子体加工设备，所述静电卡盘其包括用于承载被加工工件的基座，所述基座包括固定单元和可调单元，所述可调单元嵌套在所述固定单元的外周缘，所述可调单元的上表面可与所述固定单元的上表面齐平或低于所述固定单元的上表面。该静电卡盘可以减少更换静电卡盘的时间，提高等离子体加工设备的使用率，而且可以降低等离子体加工设备的制造成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102856241A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201110175009.2 | 申请日期 | 2011.06.27 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 管长乐 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 张天舒;陈源 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，包括用于承载被加工工件的基座，其特征在于，所述基座包括固定单元和可调单元，所述可调单元嵌套在所述固定单元的外周缘，所述可调单元的上表面可与所述固定单元的上表面齐平或低于所述固定单元的上表面。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 | ||