有关未被抽样的工件的数据表示

摘要

本发明涉及有关未被抽样的工件的数据表示。本发明揭示了一种提供与未被抽样的工件相关联的数据表示之方法、装置、及系统。接收与第一工件有关的所测量之量测数据(metrology data)。根据与该第一工件有关的量测数据，而求与第二工件对应的量测数据之近似值，以便提供与该第二工件有关的预计(projected)量测数据。

主权项

一种用于提供与未被抽样的工件相关联数据表现的方法，包含下列步骤：接收与第一工件有关的所测量的量测数据；以及根据与该第一工件有关的该量测数据，而求与第二工件对应的量测数据的近似值，以便提供与该第二工件有关的预计量测数据，并且决定与准确性有关的信心水准。