发明名称 | 基于微阵列的空间滤波器 | ||
摘要 | 本发明涉及一种空间滤波测量装置(1)和空间滤波测量设备(2),包括至少一个传感器(4,5;41I–41IV;51)和空间滤波器。其中从测量对象(13)射出或反射的电磁辐射尤其是光通过所述空间滤波器在所述传感器(4,5;41I–41IV;51,52)上成像。本发明还涉及一种实施空间滤波测量的方法。根据本发明的所述空间滤波测量装置被进一步开发,所述空间滤波器被设计成具有可在各自的角位置上移动的镜元件(21–21″′)的微镜阵列。 | ||
申请公布号 | CN102859368A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
申请号 | CN201080062458.X | 申请日期 | 2010.10.12 |
申请人 | 微-埃普西龙光电股份有限公司 | 发明人 | M·德冈;N·达马斯科歇;M·谢弗佩;I·梅恩 |
分类号 | G01P3/36(2006.01)I | 主分类号 | G01P3/36(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 亓云 |
主权项 | 一种空间滤波测量装置(1),包括至少一个传感器(4,5;41I–41IV;51)和空间滤波器;从测量对象(13)射出或反射的电磁辐射特别是光通过所述空间滤波器在传感器(4,5;41I–41IV;51,52)上成像,其特征在于,所述空间滤波器是包括可移动镜元件(21–21″′)的镜阵列形式尤其是微镜阵列。 | ||
地址 | 德国德累斯顿-兰格布鲁克 |