靶、以及硬覆膜被覆切削工具

摘要

本发明涉及一种靶，其具有由Cr1-x-y-zAlx[Ni1-aZra]yMz所表示的组成，并且相对密度为95%以上，其中，M为选自由Ti、Nb、Si、B、W和V组成的组中的至少一种元素，并且，a、x、y和z满足0.5≤x≤0.8、0.01≤y≤0.35、0≤z≤0.2、0.51≤x+y+z＜1和0.2≤a≤0.5。所述靶用于形成切削工具用的硬覆膜。本发明还涉及一种硬覆膜被覆切削工具，包括：基材以及形成于该基材表面上的硬覆膜，其中所述硬覆膜是通过采用所述的靶而形成的并且包含氮化物、碳化物或碳氮化物。

主权项

一种靶，其具有由Cr1‑x‑y‑zAlx[Ni1‑aZra]yMz所表示的组成，并且相对密度为95%以上，所述靶用于形成切削工具用的硬覆膜，其中，M为选自由Ti、Nb、Si、B、W和V组成的组中的至少一种元素，并且，其中，a、x、y和z满足0.5≤x≤0.8、0.01≤y≤0.35、0≤z≤0.2、0.51≤x+y+z＜1和0.2≤a≤0.5。